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含碳的氮化鋁燒結(jié)體用于半導(dǎo)體制造檢測(cè)設(shè)備的基材百度學(xué)術(shù)化專佛山陶瓷摘要本發(fā)明目的是提供一種能保持Ω或更大體積電阻率的氮化鋁燒結(jié)體,能保證覆蓋能力大的輻射熱量和用溫度顯示器測(cè)定時(shí)的準(zhǔn)確度。本發(fā)明的含碳氮化鋁燒結(jié)體年版氮化鋁陶瓷基片生產(chǎn)項(xiàng)目可行性研究報(bào)告中商情報(bào)網(wǎng)一建立氮化鋁陶瓷基片生產(chǎn)項(xiàng)目實(shí)施管理機(jī)構(gòu)二資金籌集安排三技術(shù)獲得與轉(zhuǎn)讓四勘察設(shè)計(jì)和設(shè)備訂貨五施工準(zhǔn)備六施工和生產(chǎn)準(zhǔn)備七

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