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多晶硅鑄錠用坩堝燒結爐的設計--《電子工業(yè)專(zhuān)用設備》年期摘要:多晶硅鑄錠時(shí)是將硅材料放在一個(gè)耐高溫容器即坩堝中將硅料熔化、冷卻、長(cháng)。陳國紅;劉秋生;何遠湘;;鋰離子動(dòng)力電池材料磷酸鐵鋰制備設備的研究[J];電子工業(yè)專(zhuān)用。

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多晶硅鑄錠用坩堝的制作方法技術(shù)背景目前生產(chǎn)多晶硅錠時(shí)采用石英陶瓷坩堝作為多晶硅鑄錠的容器,通過(guò)雙溫區或三溫區控制,利用晶錠上下的溫度梯度實(shí)現定向凝固,采用氮化硅粉末涂層為脫模劑,此方法。

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