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【摘要】:通過(guò)實(shí)驗,著(zhù)重討論了石英晶體的研磨機理及研磨速度、研磨壓力和磨粒粒徑對試件表面質(zhì)量和研磨效率的影響,并確定了合理的精密研磨參數選用范圍。實(shí)驗采用修正

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